化学物質が不安定になったときの安全対策 クリーンルーム内で赤外線ランプを使用する場合、特に可燃性の洗浄剤がある場所では、単純に通常のヒーターを使うわけにはいきません。VOCsが存在するからです。ちょっとした火花や、表面の温度が少し高くなっただけでも、深刻な問題が発生します。 だからこそ、私たちはこ...

IR加熱と揮発性化学物質が共存する環境での安全対策 バイオセンサーを製造している方なら、正確なIR加熱や乾燥が必要だということはご存知でしょう。しかし問題は、その処理が通常、化学洗浄剤の近くで行われるという点です。これらの溶剤の多くは可燃性があり、場合によっては爆発性もあります。 そうした環境では...

オーブンを待つのはやめましょう：金メッキされた赤外線ランプが半導体加工のスピードを上げる方法 半導体加工に携わったことがある人なら、待つことの苦しさをよく知っているでしょう。 熱風を使って加熱する方法は非効率的です。空気は熱を伝えるのが苦手です。その結果、ただ時間だけが過ぎていき、基板が適切な温度...

リンスチェンバーをオーブンのように使わないでください ほとんどの赤外線ヒーターは、熱をあらゆる方向に放出します。つまり、360度全方位に熱が散らばります。狭い半導体リンスチェンバーでは、これは大きな問題を引き起こします。 熱が至る所に散らばると、装置の内壁がその熱を吸収してしまいます。すると、機械...

ウェーハの硬化処理システムがオーブンのようになってしまうのを防ぎましょう。 IRランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。360度全方位に放射されます。 半導体製造においては、ウェーハに当たらない熱は単なる無駄に過ぎません。しかし、それだけではありません。余分なエネルギーはどこかに行...

クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つために もしクラス100のクリーンルームを運営しているなら、微粒子が発生するという問題はよくご存知でしょう。わずかな破片やヒーターから出るガスだけで、半導体の品質が著しく低下してしまいます。本当に厄介ですね。 そのため、私たちは通常のヒーターの使...

ガラス片の飛散を防ぎ、UHP加熱システムを安全に保つ 高負荷の半導体製造工場では、ヒーターランプが破損することは大きな問題です。停止時間が長くなるだけでなく、汚染も深刻な問題です。石英管が割れると、粒子が飛び散り、その結果、ウェハ全体がダメになってしまいます。 私たちは、そうした問題を避けるために...

なぜ、鉛を含まない製品を作るために赤外線硬化法を使うのか？ バイオセンサーを製造するには、いくつかのバランスを考えなければなりません。接着剤や各層を硬化させるためには十分な熱が必要ですが、熱を過度に与えると、敏感な基板が損傷してしまいます。 そのため、私たちは赤外線ランプを利用しています。赤外線は...

IR加熱と強制送風：どちらがあなたの製造現場に適しているのか？ もし今でも半導体の精密加工に熱風循環方式を使っているのであれば、待つ時間だけで多くの時間が無駄になっている可能性があります。 考えてみてください。強制送風方式では、わずかなウェーハを適切な温度にするために、部屋全体を加熱しなければなり...

クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つために クラス100のクリーンルームを運用する際、加熱はかなり厄介な問題です。重要なのは温度そのものではなく、目に見えない微粒子です。ほとんどの加熱素子は汚れており、加熱や冷却のたびに微小な粒子が放出されます。 私たちはより良い方法を考え出しまし...

熱の無駄遣いをやめよう：なぜ精密なアルミニウム製反射板が重要なのか 半導体製造の世界では、熱は最良の「味方」です。ただし、熱が本来あるべき場所以外に行ってしまうと問題になります。 高出力のIRランプを考えてみてください。そのエネルギーはまっすぐ前にしか進まず、あらゆる方向に散乱します。そのエネルギ...

300mmウェーハの場合、オーブン自体は安定しているように見えますが、ソフトベイク後でもフォトレジストのプロファイルには変動が生じます。その結果、エッチング時にウェーハ上の線幅にばらつきが生じ、それは結局、ウェーハ全体の温度分布の不均一性に起因しています。 多くの場合、問題の原因はドライヤーのラン...

リソグラフィー工程においては、フォトレジストの焼成性能が線幅制御の鍵となります。ソフトベイクやハードベイク時に1℃の温度変動があるだけで、すぐにCDのばらつきが生じます。また、たった一つの粒子でもウェーハを破壊する可能性があります。TELヒーターランプは、そうした状況に対応するために設計されており...

リソグラフィ工程では、ソフトベイクの温度がわずか0.5度ずれただけでCDバジェットに影響し、ハードベイクの温度がウェハ全体で均一でないとスカミングやフッティングが発生することをすぐに理解します。ラインがロットあたりの時間短縮を追求している場合、ランプの交換を待つ余裕はありません。 技術的に重要なポ...