TEL 東京エレクトロン ヒーターランプ

リソグラフィー工程においては、フォトレジストの焼成性能が線幅制御の鍵となります。ソフトベイクやハードベイク時に1℃の温度変動があるだけで、すぐにCDのばらつきが生じます。また、たった一つの粒子でもウェーハを破壊する可能性があります。TELヒーターランプは、そうした状況に対応するために設計されており...