グローブボックス用赤外線ヒーター素子

なぜIR加熱がグリーンスタンダードを達成するためのより優れた方法なのか グローブボックス内で作業を行う際、最も避けたいのは汚れです。熱は必要ですが、ウェーハの周りにほこりや粒子が飛び回るのは望ましくありません。だからこそ、私たちは赤外線加熱器を利用するのです。 空気を加熱するのではなく、赤外線は電...