なぜ半導体製造において熱風を使わなくなっているのか もし、クリーンルームの設備をアップグレードする作業を経験したことがあれば、温度上昇に伴う苦労をご存知でしょう。これは、どうしても時間がかかる工程です。 多くの古い工場では依然として熱風を利用しています。しかし問題は、まず空気を加熱し、その後、その...

化学物質が不安定になったときの安全対策 クリーンルーム内で赤外線ランプを使用する場合、特に可燃性の洗浄剤がある場所では、単純に通常のヒーターを使うわけにはいきません。VOCsが存在するからです。ちょっとした火花や、表面の温度が少し高くなっただけでも、深刻な問題が発生します。 だからこそ、私たちはこ...

シャードの発生を防ぐ：ウェーハをヒーターの故障から守る方法 大量生産型の半導体工場において、赤外線ランプが破損すると、それは大きな問題となります。単に停止時間や煩わしい清掃作業だけの問題ではありません。破損したランプからはガラスの破片やハロゲンガスが飛び散り、作業中のウェーハが損傷してしまいます。...

なぜウェーハ輸送用ヒーターに金を使用するのか クリーンルーム内でウェーハを移動させるとき、温度は非常に重要です。温度が低すぎたり、急激に変化したりすると、汚染や熱衝撃が発生してしまいます。これは良いスタートではありません。 そうしたことを防ぐために、私たちは金でコーティングされた反射板を使用します...

半導体クリーンルームにおける赤外線加熱と熱風循環の比較 半導体の高度な加工を行うためのクリーンルーム用オーブンを選定する際、強制空気対流式と赤外線加熱式のどちらを選ぶかは、エネルギーをどのように伝達するかという点にかかっています。熱風方式では、基板の表面近くの境界層を利用して空気を加熱し、その空気...

高齢者の部屋用にヒーターを設計するにあたり、以下の3点を最重要視した。部屋を速やかに暖めること、床面積を占有しすぎないこと、そして日々確実に動作し、トラブルがないこと。 このヒーターの心臓部はハロゲン赤外線管である。単なる「電球」とは異なり、直接人や家具を暖めるために設計された本格的な熱源であり、...