なぜ半導体製造において熱風を使わなくなっているのか もし、クリーンルームの設備をアップグレードする作業を経験したことがあれば、温度上昇に伴う苦労をご存知でしょう。これは、どうしても時間がかかる工程です。 多くの古い工場では依然として熱風を利用しています。しかし問題は、まず空気を加熱し、その後、その...

なぜバスルーム用ヒーターには防爆性のある石英が使われているのか？ 誰も、熱いシャワーから出てすぐに極寒のバスルームに入りたくないものです。だからこそ、私たちは天井に取り付けられる赤外線ヒーターを使用しています。スイッチを押した瞬間にすぐに温かさが得られます。 しかし、バスルームは厄介です。至る所に...

実際にバスルームで使えるIRヒーターの作り方 正直に言うと、バスルームは電気機器にとって最悪の環境です。至る所に蒸気があり、すべての表面に結露が発生します。その水分が電流の通り道を作り出し、もし絶縁処理が不十分だと、漏電や完全な短絡が起こり得ます。 私たちがこのような場所用の赤外線ランプを作るとき...

化学物質が不安定になったときの安全対策 クリーンルーム内で赤外線ランプを使用する場合、特に可燃性の洗浄剤がある場所では、単純に通常のヒーターを使うわけにはいきません。VOCsが存在するからです。ちょっとした火花や、表面の温度が少し高くなっただけでも、深刻な問題が発生します。 だからこそ、私たちはこ...

バスルームの暖房を実際に有効活用する方法 シャワーから出てきたら、部屋が氷点下のように寒いことがありますよね？それは最悪です。ほとんどのヒーターは空気を温めようとするだけで、時間がかかり、結局部屋が蒸し暑くなってしまいます。一方、赤外線ヒーターは違います。直接、皮膚や床、タオルなどを温めるので、即...

なぜ、私たちのミラーヒーターは1年も経たずに壊れないのか？ 正直に言えば、バスルームは電子機器にとって最悪の環境です。至る所に蒸気があり、シャワーから水しぶきが飛び散り、常に高湿度の状態です。ほとんどのヒーターではこれに耐えられません。電気接点が錆びたり、フィラメントが焼き切れたりして、また寒い部...

壁を加熱するのはやめましょう。代わりにウェーハを加熱しましょう。 正直に言えば、半導体製造工場では、制御されない熱は大変な問題です。 もし従来型の対流式ヒーターや全方位に熱を放つヒーターを使っているなら、その問題に気づいているはずです。エネルギーがウェーハだけでなく、チャンバー全体に行き渡ってしま...

もう、ヒーターの修理に苦労するのはやめましょう。IP65等級のヒーターのメンテナンスをより簡単に行う方法があります。 正直言って、産業用ヒーターはほとんどの場合、同じ2箇所で故障します。つまり、加熱素子や接続部です。 しかし、問題はここです。防水機能を持つIP65等級のヒーターを購入すると、水を防...

なぜほとんどの屋外用ヒーターは早く壊れてしまうのか（そして、その解決法） もし一度でもヒーターを屋外に設置したことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。常に厳しい環境と戦わなければなりません。 問題は、高温の発熱体が寒く湿った空気の中にあるという点です。この温度差によって結露が生じます。単な...

ウェーハの汚染を未然に防こう 正直言って、高負荷の半導体製造ラインで赤外線ランプが壊れるのは本当に最悪な状況です。 単にヒーターが停止するだけではありません。石英管が壊れると、ガラスの破片や化学物質がウェーハの表面に散乱します。一度壊れてしまうと、そのロット全体が無駄になってしまいます。 私たちは...

IR加熱と揮発性化学物質が共存する環境での安全対策 バイオセンサーを製造している方なら、正確なIR加熱や乾燥が必要だということはご存知でしょう。しかし問題は、その処理が通常、化学洗浄剤の近くで行われるという点です。これらの溶剤の多くは可燃性があり、場合によっては爆発性もあります。 そうした環境では...

目を傷つけずに適切な暖かさを得る方法 ベビーラウンジやバスルームなどで赤外線ヒーターを選ぶとき、単に出力の数値だけを見てはいけません。重要なのは、部屋にどれだけの熱が供給されるかだけではありません。実際には、光の調整も重要です。 真のコツは、快適な暖かさを肌に与えつつ、間違って強い放射線が人の目に...

シャードの発生を防ぐ：ウェーハをヒーターの故障から守る方法 大量生産型の半導体工場において、赤外線ランプが破損すると、それは大きな問題となります。単に停止時間や煩わしい清掃作業だけの問題ではありません。破損したランプからはガラスの破片やハロゲンガスが飛び散り、作業中のウェーハが損傷してしまいます。...

バスルームで震えるのをやめよう：私たちの赤外線ヒーターの仕組み 私たち全員が経験したことがあるでしょう。熱いシャワーから出て、寒いバスルームに入った瞬間、体が震えてしまうことです。本当に最悪です。 通常のヒーターは部屋の空気を温める必要があり、そのために時間がかかります。私たちは違う方法を採用しま...

ガラスの破片が降り注ぐのを防ぐ：IR乾燥時にウェーハを清潔に保つ方法 MEMSセンサーの製造において、赤外線ランプが故障すると大変なことになります。それは単なる部品の故障ではなく、まさに災害です。 高圧下で石英管が割れると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハ上に降り注ぎます。一度故障...