半導体用クォーツハロゲンヒーターバルブ

ファブの現場では、フォトレジストを加熱する際に2℃でも温度が変動すれば、部品の寸法が変わってしまい、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。必要なのは「自分勝手に温度を変える」ような熱源ではなく、一定の温度を保てる熱源です。私たちが使用している石英製のハロゲンランプは、ウェーハやフォトレジスト...