300mmウェーハの場合、オーブン自体は安定しているように見えますが、ソフトベイク後でもフォトレジストのプロファイルには変動が生じます。その結果、エッチング時にウェーハ上の線幅にばらつきが生じ、それは結局、ウェーハ全体の温度分布の不均一性に起因しています。 多くの場合、問題の原因はドライヤーのラン...

Fabフロアでのポイント フォトレジストのベーク中に±0.5°Cのドリフトが発生すると、500枚のウェーハロットを廃棄する可能性があります。プロセスカードが指定する温度に厳密に熱を供給する必要があり、ロットごとにこれを繰り返さなければなりません。当社が運用しているNIRドライヤーバルブは、この現実...