ウェーハの硬化処理システムがオーブンのようになってしまうのを防ぎましょう。 IRランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。360度全方位に放射されます。 半導体製造においては、ウェーハに当たらない熱は単なる無駄に過ぎません。しかし、それだけではありません。余分なエネルギーはどこかに行...

ファブフロアにおいて、ポリイミド硬化は単なる熱処理の一工程ではない。寸法の精度を約束する工程である。ウェハー全体で数℃の温度の過不足があれば、応力分布が変わり、膜の反りを発生させ、歩留まりが仕様外にシフトする。私たちの手法はこの現実を踏まえて構築されている。重要箇所の温度を確実に保持しつつ、清浄度...