LCDパネル製造向け赤外線ヒーター

LCDパネルファブフロアにおける熱ドリフト LCDパネルファブフロアでは、熱ドリフトは自らを告げることはありません。それは静かに歩留まりを蝕んでいきます。フォトレジストのソフトベークまたはハードベーク中に温度がわずかでもずれると、リソグラフィー、エッチング、堆積を通して続く寸法誤差を引き起こすこと...