ガラスの破片が降り注ぐのを防ぐ：IR乾燥時にウェーハを清潔に保つ方法 MEMSセンサーの製造において、赤外線ランプが故障すると大変なことになります。それは単なる部品の故障ではなく、まさに災害です。 高圧下で石英管が割れると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハ上に降り注ぎます。一度故障...

ウェーハ処理における二酸化炭素削減（正気を保ちながら） 現在、すべての半導体工場は、ネットゼロ目標を達成するために苦労している。しかし、実際にエネルギーがどこで消費されているかを見てみると、その多くはウェーハの加熱や硬化の過程で発生する無駄な熱だ。 従来の方法、つまり大規模な対流式オーブンを使う方...

なぜウェーハ加工に赤外線加熱を採用するのか 今、誰もがカーボンニュートラルについて話しています。半導体業界においては、それは私たちが物をどのように加熱するかを再考しなければならないという意味です。従来の方法、つまり大きな抵抗炉を使う方法は、まるでピザ1枚を温めるためだけに家全体を温めているようなも...

なぜ電気漏れが水素センサーを壊すのか（そして、それを防ぐ方法） 水素センサーを製造する際には、触媒層を正しく活性化させるためには熱が不可欠です。正確な温度管理が必要であり、そうでなければ全てが台無しになってしまいます。私たちは、厳格な耐容範囲内でヒーターを作成していますが、実際に問題となるのは熱そ...