クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

半導体クリーンルームにおける赤外線加熱と熱風循環の比較 半導体の高度な加工を行うためのクリーンルーム用オーブンを選定する際、強制空気対流式と赤外線加熱式のどちらを選ぶかは、エネルギーをどのように伝達するかという点にかかっています。熱風方式では、基板の表面近くの境界層を利用して空気を加熱し、その空気...