300mmのウエハーがレールから外れてベイクモジュールの中に落ちていく様子を見てみましょう。フォトレジストは、すべてのダイにおいて、均一で正確な温度に保たれる必要があります。もし高温領域の温度が1℃でも変動したり、端の部分に低温域ができたりすると、重要な寸法の制御が乱れてしまいます。そうなると工程...

製造現場において、ソフトベイクとハードベイクというのは、単なる温度設定段階ではありません。それは実際には許容範囲の設定でもあるのです。1℃の誤差であっても、ウェハの寸法精度に影響を与えますし、ホットスポットが発生すると、歩留まりが低下してしまいます。そのため、私たちは熱分布を正確に制御できるように...