ウェーハ加熱の安全距離

IRを使ってウェーハを加熱する際の安全対策 正直に言って、高温の赤外線ランプと可燃性の溶剤を一緒に使うのは、大変危険な行為です。ウェーハの化学洗浄段階では、爆発性の蒸気のすぐ近くに発火源があるのは絶対に避けたいことです。 私たちは、これを解決するためのより良い方法を見つけました。開放型のランプの代...