なぜ無鉛半導体には赤外線を使用するのか？ 半導体業界では、「グリーン」で無鉛の基準を追求しています。長い間、ウェーハを乾燥させたり、接着剤を硬化させるためには、大量の空気を加熱する対流式オーブンが使われてきました。 しかし正直、これは無駄な手段です。 だからこそ、私たちは短波長赤外線を利用するので...

IRを使ってウェーハを加熱する際の安全対策 正直に言って、高温の赤外線ランプと可燃性の溶剤を一緒に使うのは、大変危険な行為です。ウェーハの化学洗浄段階では、爆発性の蒸気のすぐ近くに発火源があるのは絶対に避けたいことです。 私たちは、これを解決するためのより良い方法を見つけました。開放型のランプの代...

バスルーム用の赤外線ヒーターを安全に使うためには――そして、足元も温かく保つためには―― 注意しないと、バスルームに赤外線ヒーターを設置するのは危険です。一方では高出力の熱があり、もう一方では絶え間ない水蒸気や水滴があります。これでは短絡や、それ以上の悪影響が起こりかねません。 夜も安心して眠るた...

300mmのウエハーがレールから外れてベイクモジュールの中に落ちていく様子を見てみましょう。フォトレジストは、すべてのダイにおいて、均一で正確な温度に保たれる必要があります。もし高温領域の温度が1℃でも変動したり、端の部分に低温域ができたりすると、重要な寸法の制御が乱れてしまいます。そうなると工程...

製造現場において、ソフトベイクとハードベイクというのは、単なる温度設定段階ではありません。それは実際には許容範囲の設定でもあるのです。1℃の誤差であっても、ウェハの寸法精度に影響を与えますし、ホットスポットが発生すると、歩留まりが低下してしまいます。そのため、私たちは熱分布を正確に制御できるように...

屋外の夕方は空気が冷たくなり始めるとすぐに不快になる。ほとんどのパティオヒーターでは、熱風の吹き出しか冷たい隅のどちらかを選ばざるを得ない。私たちは、このトレードオフを解消するために赤外線ヒーティングペインティングを開発した――必要な場所に集中的な暖かさを届ける。 実際に内部で何が起きているか こ...