ステンレス製ヒーターハウジング製造

ウェーハ処理システムでの熱の無駄遣いを止めましょう。 シリコンウェーハを加熱するとき、1ワットというのも大切です。問題は、通常のステンレス製のケースがスポンジのように働き、過剰な赤外線エネルギーを吸収してしまうことです。これにより、電力が無駄に消費されるだけでなく、装置自体が巨大な放熱源になってし...