なぜウェーハ輸送用ヒーターに金を使用するのか クリーンルーム内でウェーハを移動させるとき、温度は非常に重要です。温度が低すぎたり、急激に変化したりすると、汚染や熱衝撃が発生してしまいます。これは良いスタートではありません。 そうしたことを防ぐために、私たちは金でコーティングされた反射板を使用します...

半導体クリーンルームにおける赤外線加熱と熱風循環の比較 半導体の高度な加工を行うためのクリーンルーム用オーブンを選定する際、強制空気対流式と赤外線加熱式のどちらを選ぶかは、エネルギーをどのように伝達するかという点にかかっています。熱風方式では、基板の表面近くの境界層を利用して空気を加熱し、その空気...