過度に使わないで：バスルームに適した赤外線ヒーターの選び方 赤外線ヒーターを購入するとき、箱に書かれている出力が最も高いものを選びたくなりますよね。出力が高ければ、より多くの温かさが得られると思いますよね？ しかし、実際はそうではありません。部屋の大きさに合った出力を選ばないと、寒い場所で震えるこ...

ガラス片の飛散を防ぎ、UHP加熱システムを安全に保つ 高負荷の半導体製造工場では、ヒーターランプが破損することは大きな問題です。停止時間が長くなるだけでなく、汚染も深刻な問題です。石英管が割れると、粒子が飛び散り、その結果、ウェハ全体がダメになってしまいます。 私たちは、そうした問題を避けるために...

バスルーム用ヒーターの適切なワット数を選ぶ方法 正しい赤外線ランプを選ぶには、厳格な基準に従うのではなく、自分の部屋の特性を理解することが大切です。バスルームは特に難しい場所です。冷たいタイルや磁器の表面があるため、空気中の暖かさがすぐに吸収されてしまいます。 電気代を無駄にせずに温かさを感じたい...

リソグラフィーの工程において、フォトレジストを加熱する際に半度ものずれが生じるというのは、些細な問題ではありません。これは、電気テスト時の歩留まりの低下や、再処理が必要となるほどの粒子の発生を引き起こします。ウェーハのIR加熱では、単に一定の温度に到達させるだけでなく、ウェーハ全体にわたって安定し...

Fabフロアでのポイント フォトレジストのベーク中に±0.5°Cのドリフトが発生すると、500枚のウェーハロットを廃棄する可能性があります。プロセスカードが指定する温度に厳密に熱を供給する必要があり、ロットごとにこれを繰り返さなければなりません。当社が運用しているNIRドライヤーバルブは、この現実...