ドーパント活性化型赤外線ヒーター

ファブの現場では、熱的な制約というものがあり、それを超えてはいけない。イムプラント処理後には、一定の精度で活性化温度に到達させる必要がある。これを逃すと、シート抵抗が変動し、結果としてデバイスの歩留まりが低下してしまう。 従来のホットプレート方式では、エッジ部分での性能低下やタイムラグが生じる。そ...