高速配送 ウェーハーヒーターランプ

リソグラフィ工程では、ソフトベイクの温度がわずか0.5度ずれただけでCDバジェットに影響し、ハードベイクの温度がウェハ全体で均一でないとスカミングやフッティングが発生することをすぐに理解します。ラインがロットあたりの時間短縮を追求している場合、ランプの交換を待つ余裕はありません。 技術的に重要なポ...