なぜ半導体製造において熱風を使わなくなっているのか もし、クリーンルームの設備をアップグレードする作業を経験したことがあれば、温度上昇に伴う苦労をご存知でしょう。これは、どうしても時間がかかる工程です。 多くの古い工場では依然として熱風を利用しています。しかし問題は、まず空気を加熱し、その後、その...

化学物質が不安定になったときの安全対策 クリーンルーム内で赤外線ランプを使用する場合、特に可燃性の洗浄剤がある場所では、単純に通常のヒーターを使うわけにはいきません。VOCsが存在するからです。ちょっとした火花や、表面の温度が少し高くなっただけでも、深刻な問題が発生します。 だからこそ、私たちはこ...

シャードの発生を防ぐ：ウェーハをヒーターの故障から守る方法 大量生産型の半導体工場において、赤外線ランプが破損すると、それは大きな問題となります。単に停止時間や煩わしい清掃作業だけの問題ではありません。破損したランプからはガラスの破片やハロゲンガスが飛び散り、作業中のウェーハが損傷してしまいます。...