ウェーハ用高精度加熱IR

リソグラフィーの工程において、フォトレジストを加熱する際に半度ものずれが生じるというのは、些細な問題ではありません。これは、電気テスト時の歩留まりの低下や、再処理が必要となるほどの粒子の発生を引き起こします。ウェーハのIR加熱では、単に一定の温度に到達させるだけでなく、ウェーハ全体にわたって安定し...