なぜウェーハ輸送用ヒーターに金を使用するのか クリーンルーム内でウェーハを移動させるとき、温度は非常に重要です。温度が低すぎたり、急激に変化したりすると、汚染や熱衝撃が発生してしまいます。これは良いスタートではありません。 そうしたことを防ぐために、私たちは金でコーティングされた反射板を使用します...

なぜ無鉛半導体には赤外線を使用するのか？ 半導体業界では、「グリーン」で無鉛の基準を追求しています。長い間、ウェーハを乾燥させたり、接着剤を硬化させるためには、大量の空気を加熱する対流式オーブンが使われてきました。 しかし正直、これは無駄な手段です。 だからこそ、私たちは短波長赤外線を利用するので...

なぜ無鉛チップには赤外線硬化が最適なのか 正直に言えば、対流式オーブンはもはや古い技術と言えます。私たちの多くは赤外線硬化を採用しており、それには正当な理由があります。巨大な金属製の箱を加熱するために莫大なエネルギーを浪費する代わりに、赤外線は直接基板を加熱します。 また、よりクリーンです。高温の...

クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つために もしクラス100のクリーンルームを運営しているなら、微粒子が発生するという問題はよくご存知でしょう。わずかな破片やヒーターから出るガスだけで、半導体の品質が著しく低下してしまいます。本当に厄介ですね。 そのため、私たちは通常のヒーターの使...

無駄なエネルギーの消費をやめましょう ウェハを加熱するとき、単により多くのワット数を使えばいいというわけではありません。重要なのは、どれだけの電力を使うかではなく、その電力が実際にどこに向かうかです。 ほとんどの場合、エネルギーはチャンバーの壁に逃げてしまいます。これは無駄遣いです。だからこそ、金...

ファブの現場では、フォトレジストを加熱する際に2℃でも温度が変動すれば、部品の寸法が変わってしまい、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。必要なのは「自分勝手に温度を変える」ような熱源ではなく、一定の温度を保てる熱源です。私たちが使用している石英製のハロゲンランプは、ウェーハやフォトレジスト...

ウェハー工程におけるベイクステップは単なる中断ではなく、制御のレバーである。ソフトベイクは溶剤を除去し、レジストのプロファイルを形成する。ハードベイクは接着を固定し、エッチングマスクを実体化する。ホットプレートの温度がわずか数度でも変動すれば即座に異変がわかる。CDシフト、クリティカルディメンショ...