ウエハ製造のポリイミド硬化
ファブフロアにおいて、ポリイミド硬化は単なる熱処理の一工程ではない。寸法の精度を約束する工程である。ウェハー全体で数℃の温度の過不足があれば、応力分布が変わり、膜の反りを発生させ、歩留まりが仕様外にシフトする。私たちの手法はこの現実を踏まえて構築されている。重要箇所の温度を確実に保持しつつ、清浄度...
高速配送 ウェーハーヒーターランプ
リソグラフィ工程では、ソフトベイクの温度がわずか0.5度ずれただけでCDバジェットに影響し、ハードベイクの温度がウェハ全体で均一でないとスカミングやフッティングが発生することをすぐに理解します。ラインがロットあたりの時間短縮を追求している場合、ランプの交換を待つ余裕はありません。
技術的に重要なポ...