省エネ型ウェーハヒーター

ウェーハの汚染を未然に防こう 正直言って、高負荷の半導体製造ラインで赤外線ランプが壊れるのは本当に最悪な状況です。 単にヒーターが停止するだけではありません。石英管が壊れると、ガラスの破片や化学物質がウェーハの表面に散乱します。一度壊れてしまうと、そのロット全体が無駄になってしまいます。 私たちは...