UHP ウルトラハイピュリティ ヒーターランプ

ガラス片の飛散を防ぎ、UHP加熱システムを安全に保つ 高負荷の半導体製造工場では、ヒーターランプが破損することは大きな問題です。停止時間が長くなるだけでなく、汚染も深刻な問題です。石英管が割れると、粒子が飛び散り、その結果、ウェハ全体がダメになってしまいます。 私たちは、そうした問題を避けるために...