なぜ、IRシステムにおいて金製の反射板が最適なのか 半導体製造工場では、熱をどれだけ速く、正確に制御できるかが重要です。多くの人々は対流式のオーブンを使っていますが、正直なところ、それらは大量のエネルギーを無駄にしてしまいます。私たちは、短波長の赤外線ランプと金メッキされた反射板を用いることで、よ...

ファブの現場では、フォトレジストを加熱する際に2℃でも温度が変動すれば、部品の寸法が変わってしまい、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。必要なのは「自分勝手に温度を変える」ような熱源ではなく、一定の温度を保てる熱源です。私たちが使用している石英製のハロゲンランプは、ウェーハやフォトレジスト...