半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

なぜウェーハ輸送用ヒーターに金を使用するのか クリーンルーム内でウェーハを移動させるとき、温度は非常に重要です。温度が低すぎたり、急激に変化したりすると、汚染や熱衝撃が発生してしまいます。これは良いスタートではありません。 そうしたことを防ぐために、私たちは金でコーティングされた反射板を使用します...