チップ上のラボ用乾燥ヒーター

製造現場では、チップ上での実験が進行中に乾燥工程がうまくいかないことがあります。チャネル内に汚れが溜まったり、300mmウェーハの歩留まりが低下したりします。ヒーターは室温ではなく、所定の条件に従って動作しなければなりません。 技術的に重要な点 私たちは、石英セラミックモジュール内にある短波赤外線...