壁を加熱するのはやめましょう。代わりにウェーハを加熱しましょう。 正直に言えば、半導体製造工場では、制御されない熱は大変な問題です。 もし従来型の対流式ヒーターや全方位に熱を放つヒーターを使っているなら、その問題に気づいているはずです。エネルギーがウェーハだけでなく、チャンバー全体に行き渡ってしま...

ガラスの破片が降り注ぐのを防ぐ：IR乾燥時にウェーハを清潔に保つ方法 MEMSセンサーの製造において、赤外線ランプが故障すると大変なことになります。それは単なる部品の故障ではなく、まさに災害です。 高圧下で石英管が割れると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハ上に降り注ぎます。一度故障...

製造現場では、チップ上での実験が進行中に乾燥工程がうまくいかないことがあります。チャネル内に汚れが溜まったり、300mmウェーハの歩留まりが低下したりします。ヒーターは室温ではなく、所定の条件に従って動作しなければなりません。 技術的に重要な点 私たちは、石英セラミックモジュール内にある短波赤外線...