クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つために
もしクラス100のクリーンルームを運営しているなら、微粒子が発生するという問題はよくご存知でしょう。わずかな破片やヒーターから出るガスだけで、半導体の品質が著しく低下してしまいます。本当に厄介ですね。
そのため、私たちは通常のヒーターの使用をやめ、金コーティングが施された高純度の合成石英管を使用するようにしました。
なぜ金が重要なのか
一般的な赤外線ランプは、熱をあらゆる方向に放出します。しかし、半導体製造装置ではそれは無駄な行為です。重要なのは、ウェハーに当たる熱だけです。
そこで、石英管の背面に薄い金の層を塗ります。これにより、赤外線エネルギーが前方に向けて送られます。その結果、ワット数を上げることなく、熱密度が大幅に向上します。目標とする温度に到達するまでの時間も短縮されます。また、金は化学的に安定しており、酸化したり剥がれ落ちたりすることはありません。つまり、「ゼロ汚染」の目標が実現可能になります。
材料上の汚れと熱
私たちは高純度の石英を使用しています。これにより、高温になった時でも不純物が移動するのを防ぐことができます。これらのランプは厳しい環境下でも耐えられるように設計されています。
ただし、注意点があります。金コーティングによって多くのエネルギーが前方に送られるため、表面の熱密度が非常に高くなります。そのため、冷却システムを正しく設定する必要があります。そうでないと、石英管の端が過熱してしまいます。
設置と維持方法
これらのランプは、そのまま交換できるように設計されています。特別な手間は必要ありません。シール部分もしっかりとしているので、設置時に微粒子が漏れ出す心配もありません。
配線に関しては、電源供給を安定させることが大切です。電圧の急変は、フィラメントを早期に破壊してしまいます。
また、出力が低下しているようであれば、それはおそらく石英管の表面に汚れが付着しているためでしょう。電子用のIPAを使って丁寧に清掃しましょう。
ただし、絶対に研磨剤入りの布を使わないでください。それではコーティングが傷つき、逆に微粒子が発生してしまいます。柔らかい布を使ってください。