高効率ウェハドライヤーバルブ

Fabフロアでのポイント フォトレジストのベーク中に±0.5°Cのドリフトが発生すると、500枚のウェーハロットを廃棄する可能性があります。プロセスカードが指定する温度に厳密に熱を供給する必要があり、ロットごとにこれを繰り返さなければなりません。当社が運用しているNIRドライヤーバルブは、この現実...