ファブ エアコンヒーターモジュール
300mmウェーハを扱う際、リソグラフィー工程において最も重要なのが加熱装置です。AHUのヒーターの性能が悪くなると、バケィングプロセスのパフォーマンスも悪化し、欠陥検出装置が異常を検知する前から生産効率が低下してしまいます。私たちは、ウェーハがある場所でのみ熱環境を安定させるために、専用の空調・...
ゾーン制御型赤外線ヒーターモジュール
製造現場において、ソフトベイクとハードベイクというのは、単なる温度設定段階ではありません。それは実際には許容範囲の設定でもあるのです。1℃の誤差であっても、ウェハの寸法精度に影響を与えますし、ホットスポットが発生すると、歩留まりが低下してしまいます。そのため、私たちは熱分布を正確に制御できるように...