工場の乾燥工程におけるエネルギー診断

壁を加熱するのはやめましょう。代わりにウェーハを加熱しましょう。 正直に言えば、半導体製造工場では、制御されない熱は大変な問題です。 もし従来型の対流式ヒーターや全方位に熱を放つヒーターを使っているなら、その問題に気づいているはずです。エネルギーがウェーハだけでなく、チャンバー全体に行き渡ってしま...