壁を加熱するのはやめましょう。代わりにウェーハを加熱しましょう。 正直に言えば、半導体製造工場では、制御されない熱は大変な問題です。 もし従来型の対流式ヒーターや全方位に熱を放つヒーターを使っているなら、その問題に気づいているはずです。エネルギーがウェーハだけでなく、チャンバー全体に行き渡ってしま...

ウェーハの汚染を未然に防こう 正直言って、高負荷の半導体製造ラインで赤外線ランプが壊れるのは本当に最悪な状況です。 単にヒーターが停止するだけではありません。石英管が壊れると、ガラスの破片や化学物質がウェーハの表面に散乱します。一度壊れてしまうと、そのロット全体が無駄になってしまいます。 私たちは...

なぜ無鉛半導体には赤外線を使用するのか？ 半導体業界では、「グリーン」で無鉛の基準を追求しています。長い間、ウェーハを乾燥させたり、接着剤を硬化させるためには、大量の空気を加熱する対流式オーブンが使われてきました。 しかし正直、これは無駄な手段です。 だからこそ、私たちは短波長赤外線を利用するので...