オーブンを待つのはやめましょう：金メッキされた赤外線ランプが半導体加工のスピードを上げる方法
半導体加工に携わったことがある人なら、待つことの苦しさをよく知っているでしょう。
熱風を使って加熱する方法は非効率的です。空気は熱を伝えるのが苦手です。その結果、ただ時間だけが過ぎていき、基板が適切な温度になるのを待つしかありません。これは生産の妨げになります。
私たちはもっと良い方法を見つけました。空気を加熱して部品に熱が伝わるのを待つのではなく、二重管構造の金メッキされた赤外線ランプを使って直接部品に熱を与えるのです。
秘密は金にあります。
一般的な石英ランプは大量のエネルギーを無駄にしてしまいます。しかし、石英の内部に金をコーティングすることで、赤外線が直接部品に当たります。柔らかな光ではなく、必要な場所に集中した熱が得られるのです。
また、二重管構造により、狭いスペース内でより多くの熱を部品に与えることができます。コンパクトですが、非常に効果的です。
時間について考えてみましょう。
熱風を使うと時間がかかります。まず空気を加熱し、次にチャンバーを加熱し、最後に部品を加熱します。これは一連の反応で、時間がかかります。一方、赤外線は光速で移動するため、すぐに目標に当たります。
自社の生産ラインを考えてみてください。10分かかる加熱時間を2分に短縮できれば、各部品に対して8分の時間を節約できます。これは大きな効果です。
注意すべき点もあります。
これらの装置は、古い対流式オーブンにそのまま取り付けられるわけではありません。小さな範囲で莫大なエネルギーが放出されるからです。
冷却システムをしっかりと調整する必要があります。特にランプの部分に注意が必要です。そうでないと、シールが壊れてしまいます。また、電源も十分に信頼性が必要です。電圧が不安定だと、高密度のフィラメントが壊れてしまいます。
そして、必ず高耐熱性のケーブルを使用してください。普通のケーブルを使うと、何が起こったか気づく前に絶縁体が溶けてしまいます。