真空チャンバー用赤外線ヒーター

真空チャンバーを本当に清潔に保つ方法 クラス100のクリーンルームで作業を行う際、わずかなミスでも大惨事につながります。ほんの少しのほこりや、加熱時に漏れ出る化学ガスだけで、ウェハーが台無しになってしまいます。 一般的な加熱素子は、このような環境には適していません。それらは接着剤を漏らしたり酸化し...