真空チャンバーを本当に清潔に保つ方法
クラス100のクリーンルームで作業を行う際、わずかなミスでも大惨事につながります。ほんの少しのほこりや、加熱時に漏れ出る化学ガスだけで、ウェハーが台無しになってしまいます。
一般的な加熱素子は、このような環境には適していません。それらは接着剤を漏らしたり酸化したりしてしまい、結果として汚染物質が基板上に付着してしまいます。そのため、私たちは高純度の合成石英を真空赤外線ランプに使用しています。これにより、常に清潔を維持できます。
ガス放出の問題
私たちが使用するのは融成シリカ石英です。これは高温になっても問題になりません。通常のガラスとは異なり、分解されたり、有害な揮発性有機化合物を放出したりすることはありません。
真空中では、微小な粒子は単なる「ほこり」ではなく、欠陥となります。石英の中の不純物を取り除くことで、炭素や金属がプロセスに混入するのを防ぎます。
電力と熱
赤外線は伝播媒体を必要としないため、真空環境に最適です。私たちは高い電力密度を持つランプを設計しているため、迅速に熱を供給できます。エネルギーは直接ワークピースに届くため、チャンバーの壁が余分な熱を吸収することがありません。
ただし、注意点もあります。高出力のランプは時間を節約できますが、真空シールに負担をかけます。ギアスが局所的な熱膨張に耐えられるようにしておく必要があります。そうすれば、シールが壊れることはありません。
取り付け方法
コネクタは標準化されているため、ラック全体を再配線する必要はありません。これにより、手間が大幅に省けます。また、石英は高精度に研磨されているため、「ホットスポット」の発生を防げます。これは、ランプが早期に壊れる原因となります。
高真空システムを使用している場合は、冷却システムを確認してください。これらのランプは大量のエネルギーをワークピースに供給するため、端子が十分に熱くなり、安価な配線が溶けてしまうことがあります。そのため、高温に耐えられる配線を使用することが重要です。