高能效晶圆加热器

在污染发生之前就加以预防 说实话，当高负荷半导体生产线上的红外灯突然损坏时，那简直就是一场灾难。 问题不仅仅在于加热器停止工作而已。一旦石英管破裂，玻璃碎片和化学物质就会溅到晶圆表面，导致整个批次的晶圆都变得无法使用。 我们花了大量时间来研究如何从源头上避免这种情况的发生。 应对热量与压力 通常，...