用于半导体的石英卤素加热灯泡

在光刻车间里，如果光刻胶在烘烤过程中的温度波动达到2摄氏度，就足以导致关键尺寸出现偏差，从而使整批产品报废。因此，我们不需要那种“会自行变化温度”的热源，而需要的是能够稳定保持温度的热源。我们所使用的石英卤素灯能够实现精确的温度控制，尤其是在那些对温度极为敏感的区域——比如晶圆、光刻胶以及产品良率...