法布空调加热模块

在300毫米光刻生产线中，光刻腔室可谓是整个生产流程中的核心部分。如果AHU中的加热器出现偏差，那么烘烤过程的参数也会随之改变——而此时，缺陷检测系统还无法发现任何问题。我们设计的空调加热模块旨在确保晶圆所在区域的热环境保持稳定。 关键在于控制温度的均匀性 我们努力将供气流中的温度均匀性控制在...