晶圆制造中的聚酰亚胺固化

在晶圆厂车间，聚酰亚胺固化不仅仅是一个简单的热处理步骤。它关乎尺寸的承诺。即使在晶圆上温度偏移几度，也会改变应力，导致薄膜翘曲，并使良率偏离规格。我们的方案正是基于这一实际情况设计：在关键部位保持温度稳定，同时不牺牲洁净度和设备运行时间。 技术重点 我们采用短波红外发射器与石英稳定的热场相结合，实...