洁净室烤箱红外线加热器

在半导体洁净室中，红外加热与热空气循环哪种方式更佳？ 在为半导体深度加工选择炉子时，需要考虑的是如何传递能量。热空气加热依赖的是基板的边界层——先加热空气，再由空气来加热基板。不过这种方式效率较低。而红外加热则无需经过中间环节，它通过电磁辐射直接将能量传递到工件上。 时间成本的问题 在半导体制造过...