节能型半导体加热器
为什么我们要在无铅半导体生产中使用红外线技术 在半导体领域,人们一直在努力实现“绿色”和“无铅”的生产标准。长期以来,人们通常使用对流式烤箱来烘干晶圆或固化粘合剂——其实,那不过是一种效率低下的方式罢了。
实际上,那样做纯粹是浪费资源。因此,我们选择了短波红外线技术。与其依赖热空气,我们不如直接利...
晶圆加热的安全距离
使用红外灯加热晶圆时的安全措施 说实话,将高温红外灯与易燃溶剂放在一起,无疑会导致严重的安全隐患。在晶圆制造过程中的化学清洗阶段,最不希望看到的就是让点火源靠近易爆的蒸汽。
我们找到了更好的处理方法:不再使用开放式灯泡,而是将它们包裹在特殊的封装结构中。
找到最佳位置 在确定灯泡的放置位置时,需要...
IP65级替换式加热元件
为什么您的红外线加热器会出故障(以及如何解决) 您是否曾经好奇过,为何被评为IP65等级的加热器也会突然停止工作呢? 大多数人认为是因为加热元件烧坏了。但实际上,问题往往不在于加热元件本身,而在于电线进入石英管时的密封部位。那个小小的部位才是真正的隐患所在。当加热器处于最高工作温度时,正是在那里决...
IP44级防水加热台
如何确保浴室中的红外线加热器安全使用(同时让脚部保持温暖) 如果不小心的话,将红外线加热器置于浴室中其实是一种冒险行为。因为一方面有高功率的加热元件,另一方面则有持续的蒸汽和水分。这种环境很容易导致电路短路,甚至引发更严重的故障。
为了能安心入睡,不能简单地将加热器放入普通的塑料盒中。必须使用符合...
先进晶圆厂的分区供暖系统
请看,300毫米的晶圆从传送带上滚落到烘烤模块中。光刻胶必须达到规定的温度——整个晶圆表面的温度都应保持均匀且稳定。如果加热区域的温度有1°C的偏差,或者边缘出现低温点,那么关键尺寸的控制就会受到影响,生产流程也会中断。
真正重要的因素是什么? 我们采用了分区加热的方式,每个区域都有独立的加热元件...
分区式红外加热模块
在工厂车间里,所谓的“软烘烤”和“硬烘烤”,其实并非单纯的温度控制步骤,而是对温度精度的控制。哪怕温度偏差仅1摄氏度,就可能会影响到产品的关键尺寸要求;而局部过热则可能直接导致产品报废。因此,我们设计了分区式红外加热模块,从而避免在温度控制上出现误差。
从技术层面来看,重要的是什么? 我们使用具有...