红外加热与强制空气加热：哪种方式更适合您的工厂？ 如果您仍在使用热风循环的方式来对半导体进行深度加工，那您很可能要花费大量时间来等待温度上升。想想看，使用强制空气加热时，实际上是为了让整个房间都变热，才能让那块小小的晶圆达到合适的温度。这种方式速度很慢，而且效率低下。还会出现温度波动的情况，让人不...

在光刻车间里，如果光刻胶在烘烤过程中的温度波动达到2摄氏度，就足以导致关键尺寸出现偏差，从而使整批产品报废。因此，我们不需要那种“会自行变化温度”的热源，而需要的是能够稳定保持温度的热源。我们所使用的石英卤素灯能够实现精确的温度控制，尤其是在那些对温度极为敏感的区域——比如晶圆、光刻胶以及产品良率...