MEMS传感器晶圆干燥加热器

阻止玻璃碎片飞溅：在红外干燥过程中保护晶圆不受污染 在MEMS传感器制造过程中，红外灯的故障简直就是一场灾难。这不仅仅是零件损坏的问题，而是一种全面的破坏。想象一下，当石英管在高压作用下破裂时，玻璃碎片和钨丝会直接掉落在晶圆上。一旦发生这种情况，整批晶圆都会被毁掉。之后，还需要拆除整个反应室来清理...