高效晶圆干燥灯泡

在晶圆厂车间，你清楚流程要求。光刻胶烘烤过程中±0.5°C的温度漂移足以报废一个500片晶圆批次。你需要的加热必须严格符合工艺卡上的要求，每批次均如此。我们使用的NIR干燥灯泡正是基于这一需求设计——在Class 1–100洁净室环境下，能够实现稳定、可重复的热性能，日复一日。 核心技术特点 它将...