用于半导体加热器的热电偶

停止浪费热量 在加热晶圆时，增加功率并不是解决问题的办法。关键不在于拥有多少功率，而在于这些功率究竟被用在了哪里。 大多数情况下，能量会泄漏到腔室壁中，从而造成浪费。因此，我们使用镀金反射器来避免这种情况。这样，热量就不会散失，而是会被重新引导到晶圆上。 为什么选择黄金？ 想象一下普通的石英灯——...