晶圆加工工具用温度传感器

为何我们选择红外加热技术来处理晶圆 如今，大家都在谈论碳中和的问题。在半导体行业中，这意味着我们必须重新思考如何为晶圆加热。传统的加热方式——使用大型电阻炉——就好比为了加热一片披萨而让整个房子都处于高温状态，这显然是浪费资源的行为。 因此，我们转而采用红外加热技术。这样一来，就不必让整个腔室都处...