先进晶圆厂的分区供暖系统

请看，300毫米的晶圆从传送带上滚落到烘烤模块中。光刻胶必须达到规定的温度——整个晶圆表面的温度都应保持均匀且稳定。如果加热区域的温度有1°C的偏差，或者边缘出现低温点，那么关键尺寸的控制就会受到影响，生产流程也会中断。 真正重要的因素是什么？ 我们采用了分区加热的方式，每个区域都有独立的加热元件...