停止给墙壁加热吧——把热量集中在晶圆上才对。 说实话，在半导体制造厂里，无法控制的温度简直就是一场噩梦。如果你使用的是传统的对流式加热器或全方位加热器，那你肯定已经注意到这个问题了：热量并非只作用于晶圆上，而是会扩散到整个腔室中。这样一来，腔室的内壁就会变得极其灼热。这不仅浪费了能源，还会对在机器...

阻止玻璃碎片飞溅：在红外干燥过程中保护晶圆不受污染 在MEMS传感器制造过程中，红外灯的故障简直就是一场灾难。这不仅仅是零件损坏的问题，而是一种全面的破坏。想象一下，当石英管在高压作用下破裂时，玻璃碎片和钨丝会直接掉落在晶圆上。一旦发生这种情况，整批晶圆都会被毁掉。之后，还需要拆除整个反应室来清理...

在制造车间里，当干燥步骤出现偏差时，芯片实验室中的操作就会出问题。人们会看到通道中有杂质堆积，300毫米直径的晶圆上的成品率也会下降。因此，加热器必须按照既定参数来工作，而不能依赖室温。 从技术层面来看，什么是最重要的呢？ 我们设计的这种芯片实验室用加热器，是以石英陶瓷模块中的短波红外发射器为基础...